各學(xué)院（研究院）及相關(guān)教師：
為貫徹落實(shí)黨中央、國(guó)務(wù)院關(guān)于加強(qiáng)基礎(chǔ)研究和提升原始創(chuàng)新能力的重要戰(zhàn)略部署,，國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)（以下簡(jiǎn)稱自然科學(xué)基金委）工程與材料學(xué)部擬資助“芯片亞納米級(jí)制造前沿探索”原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目（以下簡(jiǎn)稱原創(chuàng)項(xiàng)目）,。
后摩爾時(shí)代芯片先進(jìn)制程工藝將邁入1 nm節(jié)點(diǎn)，亞納米級(jí)制造貫穿芯片制造工藝的全流程,。然而,，亞納米制造涉及從經(jīng)典連續(xù)力學(xué)行為到量子行為的跨越，存在原子間,、原子與能場(chǎng)間復(fù)雜的相互作用,，因此亟需發(fā)展面向未來(lái)芯片的亞納米級(jí)制造新原理與新方法。
一,、科學(xué)目標(biāo)
本項(xiàng)目圍繞未來(lái)芯片制造面臨的共性基礎(chǔ)科學(xué)問(wèn)題,，旨在通過(guò)揭示表界面亞納米級(jí)尺度的定域、定量,、定勢(shì)調(diào)控機(jī)制,，建立亞納米級(jí)精度表面與結(jié)構(gòu)的可控加工方法，為發(fā)展原子級(jí)制造開展先導(dǎo)性探索,，支撐新一代芯片制造關(guān)鍵工藝和裝備能力的升級(jí)換代,。
二、資助方向
?。ㄒ唬┬酒圃爝^(guò)程中的亞納米級(jí)去除新原理與新方法,。
開展多元互連異質(zhì)表面亞納米級(jí)可控去除基礎(chǔ)研究，探索亞納米級(jí)可控去除的限域作用機(jī)理及多源能量調(diào)控機(jī)制,，發(fā)展外場(chǎng)調(diào)控多元異質(zhì)材料亞納米級(jí)同步去除技術(shù),，形成宏觀尺度互連異質(zhì)表面亞納米級(jí)一致去除控制的拋光工藝、技術(shù)與裝備,。
?。ǘ┬酒冗M(jìn)制程中的三維亞納米級(jí)結(jié)構(gòu)構(gòu)筑新原理與新方法。
開展極小尺度,、極高深寬比亞納米結(jié)構(gòu)精準(zhǔn)制造基礎(chǔ)研究,，探究原子級(jí)表面改性與反應(yīng)調(diào)控機(jī)制，發(fā)展亞納米級(jí)表面改性的壓印模板制造與選區(qū)沉積技術(shù)，形成芯片三維互連亞納米結(jié)構(gòu)的壓印成形與原子級(jí)精準(zhǔn)沉積制造工藝與裝備,。
?。ㄈ┑谒拇雽?dǎo)體材料的亞納米級(jí)制造新原理。
發(fā)展金剛石等第四代半導(dǎo)體材料的“時(shí)-空-頻”多參數(shù)協(xié)同調(diào)控的激光制造等亞納米級(jí)制造新原理新技術(shù),；開展典型構(gòu)件幾何特性,、物化特性的跨尺度表征,，建立其性能和制造之間的關(guān)系,。
（四）芯片亞納米級(jí)制造過(guò)程中的缺陷檢測(cè)與修復(fù),。
探索芯片亞納米級(jí)制造過(guò)程中缺陷的形成機(jī)制,，研究缺陷對(duì)外部能場(chǎng)的限域反應(yīng)機(jī)制，發(fā)展超高時(shí)空精度的表面,、亞表面缺陷一體化檢測(cè)技術(shù),，揭示外加能場(chǎng)作用下原子有序重構(gòu)規(guī)律，形成基于原子排布精準(zhǔn)調(diào)控的缺陷消除和修復(fù)新方法,。
三,、資助計(jì)劃
本原創(chuàng)項(xiàng)目資助期限為3年，申請(qǐng)書中研究期限應(yīng)填寫“2024年1月1日－2026年12月31日”,。計(jì)劃資助4-5項(xiàng),，平均資助強(qiáng)度200萬(wàn)/項(xiàng)。
四,、申請(qǐng)要求
?。ㄒ唬┥暾?qǐng)資格。
具有承擔(dān)基礎(chǔ)研究項(xiàng)目（課題）或其他基礎(chǔ)研究經(jīng)歷的科學(xué)技術(shù)人員均可提出申請(qǐng),。
?。ǘ┫揄?xiàng)申請(qǐng)規(guī)定。
1.申請(qǐng)人同年只能申請(qǐng)1項(xiàng)原創(chuàng)項(xiàng)目（含預(yù)申請(qǐng)）,。
2.原創(chuàng)項(xiàng)目從預(yù)申請(qǐng)開始直到自然科學(xué)基金委做出資助與否決定之前,，不計(jì)入申請(qǐng)和承擔(dān)總數(shù)范圍，獲資助后計(jì)入申請(qǐng)和承擔(dān)總數(shù)范圍,。
3.應(yīng)符合《2023年度國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目指南》中對(duì)申請(qǐng)項(xiàng)目數(shù)量的限制,。
五、申請(qǐng)程序
?。ㄒ唬╊A(yù)申請(qǐng),。
1.預(yù)申請(qǐng)?zhí)峤粫r(shí)間為2023年11月24日－11月26日16:00時(shí)，以國(guó)家自然科學(xué)基金網(wǎng)絡(luò)信息系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱“信息系統(tǒng)”）提交時(shí)間為準(zhǔn),，在提交時(shí)間之外提交的申請(qǐng)將不予受理,。請(qǐng)有意申報(bào)的學(xué)院和教師盡快與科學(xué)技術(shù)處王老師、韓老師（89733253）聯(lián)系，務(wù)必按照通知要求準(zhǔn)備材料并在11月25日16時(shí)前完成系統(tǒng)填報(bào),。
2.請(qǐng)申請(qǐng)人登錄信息系統(tǒng)https://grants.nsfc.gov.cn撰寫預(yù)申請(qǐng),。沒(méi)有信息系統(tǒng)賬號(hào)的申請(qǐng)人請(qǐng)向依托單位基金管理聯(lián)系人申請(qǐng)開戶。在信息系統(tǒng)“申請(qǐng)與受理”菜單下,，點(diǎn)擊“原創(chuàng)項(xiàng)目預(yù)申請(qǐng)”,，進(jìn)入預(yù)申請(qǐng)?zhí)顚戫?yè)面，選擇“指南引導(dǎo)類”,，附注說(shuō)明選擇“芯片亞納米級(jí)制造前沿探索”,，申請(qǐng)代碼1應(yīng)當(dāng)填寫工程與材料科學(xué)部相應(yīng)的申請(qǐng)代碼（“E”字母開頭），申請(qǐng)代碼2根據(jù)項(xiàng)目研究所涉及的領(lǐng)域自行選擇相應(yīng)學(xué)科申請(qǐng)代碼,。以上選擇不準(zhǔn)確或未選擇的項(xiàng)目申請(qǐng)不予資助,。
3.預(yù)申請(qǐng)主要闡述所提學(xué)術(shù)思想的原創(chuàng)性、科學(xué)性和潛在影響力,，字?jǐn)?shù)控制在2000字以內(nèi),。另外，申請(qǐng)人還須在“與指南所列研究方向的吻合性”中注明申請(qǐng)針對(duì)的本指南所列資助方向名稱,。申請(qǐng)人按照信息系統(tǒng)中的有關(guān)提示填寫預(yù)申請(qǐng)相關(guān)內(nèi)容后直接提交至自然科學(xué)基金委,。
4.自然科學(xué)基金委受理預(yù)申請(qǐng)并組織審查。審查結(jié)果將以電子郵件形式反饋至申請(qǐng)人,。
?。ǘ┱缴暾?qǐng)。
1.預(yù)申請(qǐng)審查通過(guò)的申請(qǐng)人,，應(yīng)按照“專項(xiàng)項(xiàng)目-原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目正式申請(qǐng)書撰寫提綱”要求填寫正式申請(qǐng)書,。正式申請(qǐng)的核心研究?jī)?nèi)容應(yīng)與預(yù)申請(qǐng)一致，并要求在正式申請(qǐng)書正文的第一句明確寫明申請(qǐng)項(xiàng)目所對(duì)應(yīng)的本指南所列資助方向,。
2.除特別說(shuō)明外,，每個(gè)原創(chuàng)項(xiàng)目的合作研究單位數(shù)合計(jì)不超過(guò)2個(gè)；主要參與者必須是項(xiàng)目的實(shí)際貢獻(xiàn)者,。
3.申請(qǐng)人應(yīng)根據(jù)《國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目資金管理辦法》《項(xiàng)目資金管理有關(guān)問(wèn)題的補(bǔ)充通知》有關(guān)規(guī)定和《國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目資金預(yù)算表編制說(shuō)明》的具體要求,，按照“目標(biāo)相關(guān)性、政策相符性,、經(jīng)濟(jì)合理性”的基本原則,，認(rèn)真編制《國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目資金預(yù)算表》。
4.申請(qǐng)人完成申請(qǐng)書撰寫后,，在線提交電子申請(qǐng)書及附件材料,。
5.依托單位應(yīng)對(duì)本單位申請(qǐng)人所提交申請(qǐng)材料的真實(shí)性和完整性進(jìn)行審核。原創(chuàng)項(xiàng)目采用無(wú)紙化申請(qǐng)方式,，依托單位只需在線確認(rèn)并及時(shí)提交電子申請(qǐng)書及附件材料,，并在截止時(shí)間后24小時(shí)內(nèi)在線提交項(xiàng)目申請(qǐng)清單,，無(wú)需報(bào)送紙質(zhì)申請(qǐng)書。項(xiàng)目獲批準(zhǔn)后,，將申請(qǐng)書的紙質(zhì)簽字蓋章頁(yè)裝訂在《資助項(xiàng)目計(jì)劃書》最后,，與之一并提交。簽字蓋章的信息應(yīng)與信息系統(tǒng)中的電子申請(qǐng)書保持一致,。
6.自然科學(xué)基金委項(xiàng)目材料接收工作組負(fù)責(zé)接收申請(qǐng)材料,，如材料不完整，將不予接收,。材料接收工作組聯(lián)系方式如下：北京市海淀區(qū)雙清路83號(hào)國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)項(xiàng)目材料接收工作組（行政樓101房間）,，聯(lián)系電話：010-62328591。
六,、注意事項(xiàng)
?。ㄒ唬┵Y助項(xiàng)目信息公布。
自然科學(xué)基金委將在官方網(wǎng)站公布資助原創(chuàng)項(xiàng)目基本信息,。
（二）項(xiàng)目實(shí)施保障,。
原創(chuàng)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人應(yīng)將主要精力投入原創(chuàng)項(xiàng)目的研究中,；依托單位應(yīng)加強(qiáng)對(duì)原創(chuàng)項(xiàng)目實(shí)施的監(jiān)督、管理和服務(wù),，減輕項(xiàng)目負(fù)責(zé)人不必要的負(fù)擔(dān),，為項(xiàng)目研究提供必要的制度和條件保障。
?。ㄈ┢渌?。
原創(chuàng)項(xiàng)目申請(qǐng)與資助不設(shè)復(fù)審環(huán)節(jié)。
自然科學(xué)基金委將把相關(guān)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人項(xiàng)目執(zhí)行情況和評(píng)審專家的評(píng)審情況計(jì)入信譽(yù)檔案,。
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1.填報(bào)過(guò)程中遇到的技術(shù)問(wèn)題,，可聯(lián)系自然科學(xué)基金委信息中心協(xié)助解決,，聯(lián)系電話：010-62317474。
2.其他問(wèn)題可咨詢工程與材料科學(xué)部綜合與戰(zhàn)略規(guī)劃處,，電話：010-62326887,。
